熱式氣體質量流量計基于熱擴散原理，即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關系，具體來說，流量計的傳感器有兩支標準級的RTD，一支用來做熱源，一支用來測量流體溫度，流體經過時，熱源的熱量損失與流量的大小成線性關系，熱式氣體質量流量計就可以把這種關系轉換成測量流量信號的線性輸出。
利用熱擴散原理制造的流量計有兩種設計方法，基于共同的模型，如圖：
P/ΔT=D+Eqkm
其中 P--耗散功率
ΔT--兩個傳感器間的溫度差
D--與實際流動有關的常數
E--與測量氣體的熱性能有關的常數
q m--質量流量
K--指數系數
溫度傳感器（RTD）分別置于氣流中兩種金屬細管內，一熱電阻測得氣流溫度T ,另一細管經功率恒定的電熱加熱，其溫度Tv高于氣流溫度，氣體靜止時Tv最高，隨之質量流速pU增加，氣流帶走更多熱量，溫度下降，測得溫度差ΔT=Tv-T，這種方法稱作“溫度差測量法”或“溫度測量法”。
